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除電器Q&A集
日期：2025-01-04 09:11
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摘要：
除電器Q&A集
Q 引起電子元件破壞的靜電在哪里發生的？危險的靜電在哪里發生的？
A 最成問題的是組裝工序等的作業者帶電。只要沒有特別的對策，作業者很容易帶數千伏的電。半導體元件根據種類在數十伏就被破壞，所以地面的導電化和穿帶電防止服和防止靴就是必然的；但根據場合，對持有金屬板等的人體防止帶電方面需要引起細心的注意。其它方面，和塑料制的托盤及包裝等的容器類的摩擦也會引起帶電，所以需要對這些導電性的物品等的對策。
Q．操作半導體設備的工序，多使用送風式的除電器。此除電器使用方面的注意點是什么?
A 受除電器的離子風吹，因此很多情況是減弱送風、或者不直接操作半導體設備的工序，多使用送風式的除電器。此工序的作業者因為長時間離子風吹，為了有效使用送風式的除電器，需要注意此除電器的除電性能因送風強度而有很大的不同。即便在靠近除電距離d=300mm的距離，在最小風速時，電位衰減也要用很長時間。另外，即便送風方向不好，要進行電子零件·設備的除電，必要的離子量不足也會使除電時間變長。因此，要使用送風式的除電器，使用時就需要一面用靜電監視器確認除電效果和離子平衡，一面進行調節送風風向、送風強度的調節。
Q 輥子上卷繞的膠卷·紙等的帶電防止、電擊防止的對策是什?
A 輥子上卷繞的膠卷、紙等，不僅膠卷、紙帶電，卷繞完的紙管、金屬制的芯棒（管體）、及在附近作業的人體等也會帶電。作為最小必要限度的電擊防止對策，是將紙管的金屬部分、金屬制的芯棒管體接地、防止導電性的地面·靜電靴·帶電防止作業服引起的人體的帶電。進而，如果可能就應該通過送風式的除電器，用膠卷·紙等的除電·加濕器使環境的相對濕度提高到65%以上，以減少帶電。受到電擊這樣的帶電，并非只發生電擊引起的故障，還會成為爆炸·火災、電磁噪音、污染等所有故障的原因，所以，必須作到防止帶電。
Q 設置除電器場合的最佳方法和注意點是什么?？
A 為了充分發揮除電器的除電效果，及為了防止裝置的故障，設置除電器的場所的選定和安裝是非常重要的1點。首先從除電效果的方面來說，設置除電電極的最佳位置是在緊靠因靜電引發故障的場所。此場所，即便進行電位測定，也應該是記錄高電位的地點。一般作?設置場所的最佳點是電位測定時表示高電位的地點。唯有帶電物的電位高，才能吸引除電器所生成的離子，立即進行中和。其次，在裝置的故障防止方面，不要忘記除電器是高電壓裝置的一種。設置時。請避開因水及油造成的污損的場所及高溫、多濕、特別是結露的場所。另外，關于除電電極及高壓電線的安裝、配線，要考慮它們的絕緣情況，防止因泄漏電流引起的絕緣破壞，這是很重要的。
Q 交流電暈放電式除電器和直流電暈放電式除電器的不同點和使用上的注意點是什么？
A電暈放電式除電器是在除電電極的放電針上疊加高電壓，在放電針尖端集中電場，發生電暈放電，生成正·負的空氣離子。根據電壓的疊加方法，有交流方式和直流方式。兩種方式的很大的不同點，在于交流方式中從1根放電針交替生成正·負的空氣離子；而直流方式中則是從正極和負極各自的放電針分別連續生成正·負的空氣離子。
另外，交流方式的除電電極由放電針和接地極構成，而直流方式則不要接地極，這也是不同點。交流方式中從同一根放電針生成正·負的空氣離子，所以時間和空間的離子偏差少，另外隨時間變化也少。這是它的特點。除電效果在近距離效果明顯，在遠距離的效果則稍低。另一方面，直流方式中則是同時、連續生成正·負的空氣離子，所以即便是遠距離，除電效果也很好。但是因正·負的放電針兩相分離進行設置，所以在近距離，正·負的離子平衡在空間有偏差。放電針干凈時，除電效果良好；放電針一旦污損，除電效果大大降低。另外，電暈放電由于正·負的極性使動作不同，在放電針的污損方面也有不同，所以正·負的離子平衡容易發生偏差，不能缺少頻繁的清掃。
Q 清潔度為等級100程度的清潔房間，使用的靜電除電器是那種方式是所希望的呢？
A 靜電除電器分?電暈放電和光照放電。清潔度?等級100（1ft3 中的0.5μm以上的微粒子個數在100個以下）程度的清潔房間一般使用便宜的電暈放電式。電暈放電式是在針狀或者鋼絲狀的電極上疊加高電壓，將用電暈放電生成的空氣離子通過清潔房間中的氣流運送到帶電物體進行除電。在清潔房間中使用此除電器時，必須考慮因放電極自身的老化?生的灰塵和附著在放電極尖端部的空氣中化學合成的固形物的飛散所形成的灰塵。放電極自身的老化可以通過采取用薄玻璃覆蓋金屬放電極的周圍，或者在放電極的材質上利用晶體管及液晶基板上也有的硅的辦法來防止。但是，即便使用這樣的電極，也不能防止化學合成附著物的發生。在放置幾個月的場合，要除去·清掃放電極尖端部的固形附著物，這是不可缺少的。為了防止化學合成附著物的發生，除去水等的氣狀不純物的清潔干空氣作為覆蓋層空氣提供給除電器的放電部，這是很有效的。必須提供覆蓋層空氣供給裝置，有與成本提高相關聯的難點。
Q 對IC、LSI這樣的大集成半導體線路直接發生靜電放電，會使哪些電子設備遭到破壞。是哪種程度的帶電引起破壞的呢？
A 如果對IC、LSI等直接發生靜電放電，由于高電壓加在內部的半導體線路，有時會主要由于熱作用使半導體線路受到損傷。例如，在現在的主流MOS型半導體組件內部有厚度100μm程度的絕緣層的氧化膜，如果將80.100V 的電壓疊加在其上，就會引起絕緣破壞?生導通，失去作為半導體組件的功能。實際上由于氧化膜的不完全性，有時即便更低的電壓也會造成破壞。其它的電子設備也如表所示，因為只有數十.數百V的耐電壓性能，所以這種半導體組件由于靜電放電很容易遭到破壞。
Q 引起電子元件破壞的靜電在哪里發生的？危險的靜電在哪里發生的？
A 最成問題的是組裝工序等的作業者帶電。只要沒有特別的對策，作業者很容易帶數千伏的電。半導體元件根據種類在數十伏就被破壞，所以地面的導電化和穿帶電防止服和防止靴就是必然的；但根據場合，對持有金屬板等的人體防止帶電方面需要引起細心的注意。其它方面，和塑料制的托盤及包裝等的容器類的摩擦也會引起帶電，所以需要對這些導電性的物品等的對策。
Q．操作半導體設備的工序，多使用送風式的除電器。此除電器使用方面的注意點是什么?
A 受除電器的離子風吹，因此很多情況是減弱送風、或者不直接操作半導體設備的工序，多使用送風式的除電器。此工序的作業者因為長時間離子風吹，為了有效使用送風式的除電器，需要注意此除電器的除電性能因送風強度而有很大的不同。即便在靠近除電距離d=300mm的距離，在最小風速時，電位衰減也要用很長時間。另外，即便送風方向不好，要進行電子零件·設備的除電，必要的離子量不足也會使除電時間變長。因此，要使用送風式的除電器，使用時就需要一面用靜電監視器確認除電效果和離子平衡，一面進行調節送風風向、送風強度的調節。
Q 輥子上卷繞的膠卷·紙等的帶電防止、電擊防止的對策是什?
A 輥子上卷繞的膠卷、紙等，不僅膠卷、紙帶電，卷繞完的紙管、金屬制的芯棒（管體）、及在附近作業的人體等也會帶電。作為最小必要限度的電擊防止對策，是將紙管的金屬部分、金屬制的芯棒管體接地、防止導電性的地面·靜電靴·帶電防止作業服引起的人體的帶電。進而，如果可能就應該通過送風式的除電器，用膠卷·紙等的除電·加濕器使環境的相對濕度提高到65%以上，以減少帶電。受到電擊這樣的帶電，并非只發生電擊引起的故障，還會成為爆炸·火災、電磁噪音、污染等所有故障的原因，所以，必須作到防止帶電。
Q 設置除電器場合的最佳方法和注意點是什么?？
A 為了充分發揮除電器的除電效果，及為了防止裝置的故障，設置除電器的場所的選定和安裝是非常重要的1點。首先從除電效果的方面來說，設置除電電極的最佳位置是在緊靠因靜電引發故障的場所。此場所，即便進行電位測定，也應該是記錄高電位的地點。一般作?設置場所的最佳點是電位測定時表示高電位的地點。唯有帶電物的電位高，才能吸引除電器所生成的離子，立即進行中和。其次，在裝置的故障防止方面，不要忘記除電器是高電壓裝置的一種。設置時。請避開因水及油造成的污損的場所及高溫、多濕、特別是結露的場所。另外，關于除電電極及高壓電線的安裝、配線，要考慮它們的絕緣情況，防止因泄漏電流引起的絕緣破壞，這是很重要的。
Q 交流電暈放電式除電器和直流電暈放電式除電器的不同點和使用上的注意點是什么？
A電暈放電式除電器是在除電電極的放電針上疊加高電壓，在放電針尖端集中電場，發生電暈放電，生成正·負的空氣離子。根據電壓的疊加方法，有交流方式和直流方式。兩種方式的很大的不同點，在于交流方式中從1根放電針交替生成正·負的空氣離子；而直流方式中則是從正極和負極各自的放電針分別連續生成正·負的空氣離子。
另外，交流方式的除電電極由放電針和接地極構成，而直流方式則不要接地極，這也是不同點。交流方式中從同一根放電針生成正·負的空氣離子，所以時間和空間的離子偏差少，另外隨時間變化也少。這是它的特點。除電效果在近距離效果明顯，在遠距離的效果則稍低。另一方面，直流方式中則是同時、連續生成正·負的空氣離子，所以即便是遠距離，除電效果也很好。但是因正·負的放電針兩相分離進行設置，所以在近距離，正·負的離子平衡在空間有偏差。放電針干凈時，除電效果良好；放電針一旦污損，除電效果大大降低。另外，電暈放電由于正·負的極性使動作不同，在放電針的污損方面也有不同，所以正·負的離子平衡容易發生偏差，不能缺少頻繁的清掃。
Q 清潔度為等級100程度的清潔房間，使用的靜電除電器是那種方式是所希望的呢？
A 靜電除電器分?電暈放電和光照放電。清潔度?等級100（1ft3 中的0.5μm以上的微粒子個數在100個以下）程度的清潔房間一般使用便宜的電暈放電式。電暈放電式是在針狀或者鋼絲狀的電極上疊加高電壓，將用電暈放電生成的空氣離子通過清潔房間中的氣流運送到帶電物體進行除電。在清潔房間中使用此除電器時，必須考慮因放電極自身的老化?生的灰塵和附著在放電極尖端部的空氣中化學合成的固形物的飛散所形成的灰塵。放電極自身的老化可以通過采取用薄玻璃覆蓋金屬放電極的周圍，或者在放電極的材質上利用晶體管及液晶基板上也有的硅的辦法來防止。但是，即便使用這樣的電極，也不能防止化學合成附著物的發生。在放置幾個月的場合，要除去·清掃放電極尖端部的固形附著物，這是不可缺少的。為了防止化學合成附著物的發生，除去水等的氣狀不純物的清潔干空氣作為覆蓋層空氣提供給除電器的放電部，這是很有效的。必須提供覆蓋層空氣供給裝置，有與成本提高相關聯的難點。
Q 對IC、LSI這樣的大集成半導體線路直接發生靜電放電，會使哪些電子設備遭到破壞。是哪種程度的帶電引起破壞的呢？
A 如果對IC、LSI等直接發生靜電放電，由于高電壓加在內部的半導體線路，有時會主要由于熱作用使半導體線路受到損傷。例如，在現在的主流MOS型半導體組件內部有厚度100μm程度的絕緣層的氧化膜，如果將80.100V 的電壓疊加在其上，就會引起絕緣破壞?生導通，失去作為半導體組件的功能。實際上由于氧化膜的不完全性，有時即便更低的電壓也會造成破壞。其它的電子設備也如表所示，因為只有數十.數百V的耐電壓性能，所以這種半導體組件由于靜電放電很容易遭到破壞。