設備真空的基本知識
真空的基本概念：
*在給定的空間內，氣體壓強低于1個大氣壓的氣體狀態，都稱之為真空。人類接觸的真空分為兩種：一種是宇宙空間所存在的真空稱為“自然真空”；另一種是人們用真空泵抽取容器中的氣體所獲得的真空稱為“人為真空”，我們的環境箱中的真空箱和低氣壓箱都屬于人為真空的制造例子！
*完全沒有氣體的空間狀態稱為“絕對真空”，就目前而言，使用最先進的真空泵也不可能達到“絕對真空”，而實際上我們所說的真空都是“相對真空”
2：真空的計量單位：
*在真空技術中，常用“真空度”這個習慣用語和“壓強”這個物理量表示某個空間的真空程度，但應該嚴格區別它們的物理意義，壓強越低意味著真空度越高，反之，壓強高的空間則真空度低。
*下表給出了目前真空技術中常用的壓強單位及它們的換算關系：
項目 | 帕（Pa） | 托（Torr） | 毫巴（mbar） | 標準大氣壓（atm） |
1 Pa 1 Torr 1 mbar 1 atm | 1 133.3 100 1.013x105 | 7.5x10-3 1 0.75 760 | 1x10-2 1.333 1 1.013x103 | 9.87x10-6 1.316x10-3 9.87x10-4 1 |
3：真空區域的劃分：
*我們常常根據各個壓強范圍內不同的物理特點，把真空劃分為以下幾個區域：
粗真空： 1x105~~1x102Pa
低真空： 1x102~~1x10-1Pa
高真空： 1x10-1~~1x10-6Pa
超高真空： ＜ 10-6 Pa
4：真空的獲得：
*真空的獲得就是平常我們所說的“抽真空”，就是利用真空泵將容器中的
氣體抽出，使空間內的壓強低于1個大氣壓，就是達到真空狀態。
*不同類型的真空泵的抽真空能力是不同的，下面是幾種常用的真空泵的工
作壓強范圍：
旋片機械泵： 104~~10-3Pa
吸附泵： 104~~10-2Pa
擴散泵： 1~~10-6Pa
鈦升華泵： 10-2~~10-7Pa
復合分子泵： 10-2~~10-9Pa
濺射離子泵： 10-3~~10-10Pa
低溫泵： 10-4~~10-10Pa