應用原理：
在使用油擴散泵、分子泵抽真空的過程中，空間中80%以上的殘余氣體是水蒸氣、油蒸氣以及一些高沸點的蒸汽，這類殘余氣體在高真空狀態下，抽取難度大、速度慢，而且殘余氣體的存在不僅會影響真空度也會污染生產實驗工件，深冷機可有效解決這類問題,在真空度 10-2至 10-8 pa 之間快速吸附真空腔內殘余水汽和油氣，提高真空度、提高產品品質，加快抽速提高生產效率。
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在實際應用當中，根據所放的位置不同可以分為兩類：
1、水汽捕集器
它的制冷盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜，影響下次抽真空。
2、低溫冷阱
放在油擴散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴散泵返油，同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統處于真空狀態，無需除霜裝置。
根據需要，二者可以分別安裝也可以同時安裝。
根據設備的實際情況，我們可制作不同形狀的冷凝盤管。
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真空深冷機概述
真空深冷機又稱快速循環水汽深冷泵、polycold超低溫捕集泵、超低溫冷凝排氣機等。
真空深冷機采用先進的單機自復疊制冷系統，壓縮機、控制器等大部分部件均選用進口國際知名品牌，采用無氟環保綠色制冷劑，能替代液氮，節約成本，具有制冷降溫快、系統運行穩定、高效低耗，維護方便等特點。
智能控制系統（智能控制系統，完善的自動化控制，操作簡單）
溫度顯示：具有水溫溫度顯示、排氣溫度顯示、預冷溫度顯示、負載溫度顯示、出口溫度顯示、加熱溫度顯示。
安全控制系統
多種故障報警：缺水、水溫過高過低、缺相、溫度傳感器等報警功能。
多種報警方式：聲音蜂鳴報警和報警指示燈、也可接遠程報警。
設有密碼保護防止隨意調整參數。
顯示屏帶運行狀態指示，方便了解設備實時運行狀況。
多種保護功能：具有延時啟動、過熱過電流、過壓欠壓、缺相、散熱不良，壓縮機排氣過高、壓力過高、冷卻水壓力過低等保護裝置。
優化復疊技術，獨特的蒸發冷凝換熱系統設計，制冷能力更強。
制冷機溫度可到-120℃，*低可到-150℃。
2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，3分鐘可再降溫
采用國際品牌上等壓縮機、品牌油分離器，保障產品性能穩定，制冷效果更強勁。
增強型發泡設計：能有效鎖住冷量。
采用水冷式冷凝器，加寬了產品的使用環境區間，環境溫度*高可達45℃。
人機界面，高度適宜，操作方便。
可本地、遠程控制自由轉換。
一臺深冷機可設計兩路負載輸出、互不影響。
萬向底腳輪設計，移動輕松，使用方便。
RS485計算機數據接口，計算機可讀取溫度數據及控制。
實際案例圖
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1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時間50-80%；
2、提高鍍膜質量，防止返油、不脫落、顏色純正、提高生產效率；
3、降溫迅速，質量可靠，溫度可到-120℃，*低可到-150℃；
4、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，3分鐘可再降溫；
5、完善的自動化控制（觸摸屏+PLC）操作簡單；
6、一臺真空深冷機可設計兩路負載輸出、互不影響；
7、進口壓縮機，環保綠色混合型制冷劑;
8、除霜溫度自由設定；
9、當待機溫度到達后有指示燈提示，可以開始制冷；
10、具有壓縮機排氣過高、壓力過高保護；
11、采用水冷式冷凝器，加寬了產品的使用環境區間，環境溫度*高可達45℃。
12、缺水、水溫過高、電源斷電、缺相等報警功能；
13、具有水溫溫度顯示、排氣溫度顯示；
14、兩路負載入口顯示、出口溫度顯示、本機溫度顯示；
15、可本地、遠程控制自由轉換；
16、RS485計算機數據接口，計算機可讀取溫度數據及控制；
17、成本回收時間短
真空深冷機型號規格：
型號
LC-1100D12
LC-1100D16
LC-1100D16L
LC-1100D18
LC-1100D18L
功率（KW）
10
14
14
18
18
*大制冷量（W）（-100℃）
2000
3000
3000
4000
4000
電源
380V，50HZ
抽速L/S
149200
238200
238200
372500
282000
預冷時間（min）
30
除霜時間（min）
≤3
≤3
≤3
≤4
≤4
再降溫時間（min）
≤3
≤3
≤3
≤3
≤3
低溫管表面積（㎡）
1
1.8
1.5
2.5
2
低溫管規格
20m
38m
雙路15m
50m
雙路20m
冷卻方式
水冷，水溫≤30℃
冷水流量（t/h）
1.6
2.5
2.5
3
3
冷水接口尺寸（mm）
16
16
16
19
19
需冷水機功率（HP）
5
8
8
10
10
適用油泵直徑（mm）
≤800
≤900
≤600
1000或1200
≤800
適用真空腔室直徑（mm）
≤1300
≤1500
≤1000
≤1800
≤1500
真空深冷機適用領域：
1半導體 2太陽能薄膜制程 3光纖市場 4平板顯示 5裝飾鍍膜、卷繞鍍膜、光學鍍膜